大面積・高均一のプラズマ表面処理。NISSIN M120-W は、全自動のスキャン式プラズマ照射により、大面積・高均一の表面処理を実現するマイクロ波プラズマ表面処理装置です。
大面積処理
- 最大 630 × 640 mm サイズをプラズマ照射可能
高い処理均一性
- スキャン処理により、面全体で均一な処理を実現
全自動運転
- 全自動のプラズマ処理を実現し、人為ばらつきを低減
設備仕様
- 外形：W1730 × D2530 × H2000 mm
- 質量：1,800 kg
- 電源：三相 AC200V、52 kVA
- 冷却水：30 L/min 以上
- 圧縮空気：0.5〜0.7 MPa、20 NL/min 以上
