CNC画像測定システム（QUICK VISION WLI Pro）。QVW-H606P1L-E は画像測定機に白色光干渉計を搭載し、サブマイクロメートルレベルの微細形状測定と高精度3D計測を1台で実現します。
主な特長
- WLI光学系で取得した3Dデータから三次元表面性状解析・三次元粗さ解析が可能
- 3Dデータから指定高さでの寸法測定・断面形状の測定が可能
- ストロボ照明搭載によりステージ静定時間を短縮し、高スループット測定を実現
- デジタル変倍機能によりさらなる拡大表示が可能
- 2024年 日刊工業新聞社 第54回機械工業デザイン賞 IDEA「日本デザイン振興会賞」受賞
主な仕様
| コードNo. | 363-717-10 |
|---|---|
| 測定範囲（X×Y×Z） | 600 × 650 × 220 mm |
| WLI画像 共通測定範囲 | 515 × 650 × 220 mm |
| 測定精度 EUX／EUY, MPE | (0.8+2L/1000) µm |
| 測定精度 EUXY, MPE | (1.4+3L/1000) µm |
| 測定精度 EUZ, MPE | (1.5+2L/1000) µm |
| 観察装置 | プログラム制御パワーターレット 1x／2x／6x（デジタル変倍 12x） |
| 照明 | 垂直落射・透過・リング：白色LED／WLIヘッド垂直落射：ハロゲン |
| スケール分解能 | 0.1 µm |
| WLI繰り返し精度 | 2σ ≦ 0.08 µm |
| 撮像素子 | B&W CMOSデジタルカメラ |
| 最大積載質量 | 35 kg |
| 載物ガラス寸法 | 697 × 758 mm |
| 本体外観寸法（W×D×H） | 1994 × 1400 × 1572 mm（突起部を除く／専用設置台を含まず） |
| 本体質量 | 1330 kg（設置台含む 2275 kg） |
| 精度保証温度 | 20±1 ℃（変化 0.5/1h、1/24h） |
| 使用空気圧 | 0.4 MPa |
仕様はメーカー公開資料に基づきます。実際の構成・オプションは当社へお問い合わせください。
